1、标气输入数量: 1-4 路
2、稀释气体流量范围: 0-5 L/min(可定制)
3、标气流量范围: 0-100mL/min(可定制)
4、流量测量精度: ±1%F.S.
5、流量控制重复性: ±0.2%F.S
6、线性精度: ±0.5%F.S.
7、工作环境温度: 5-50℃
8、外形尺寸: 480×450×177(mm)标准19" 4U机箱
9、电源输入: 220VAC,50Hz
10、操作界面: 智能化触摸屏(HMI)
11、工作压力: 0.05-0.3Mpa
12、管路接口: ɸ6(可根据现场情况定制接口类型)
13、气路材料: 聚四氟乙烯